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一秒记住【xiaoyanwenxue.com】精彩无弹窗免费!不过,很快,他就被同学们热情的眼光所吸引。
不再去关注苏晨。
“好了,同学们,我们开始上课。”
白宇清了清嗓子说道。
“这节课呢,我们来学习等离子光源技术!”
话音刚落,地下就响起了一阵哗然。
“老师,这就是你提出的新型光源技术吗?”
“老师,我听说你这项技术直接促成了我国第一台光刻机的产生。”
....
不绝于耳的赞叹声传到了白宇的耳朵里。
白宇心中简直要乐开了花。
他就是很享受这种被人追捧的感觉。
但他脸上还是淡淡的说道:“好了,同学们,安静一下吧。”
“这项等离子光源技术其实并没有什么难的,多做几天实验就能出来了。”
底下的同学们都安静了下来。
听到白宇的话,脸上都是露出了笑容。
这种自谦的话他们怎么能信。
没什么难的?
多做几天实验就出来了?
开什么玩笑?
龙国那么多的工程师没有做过这个实验?
为什么只有你做出来了?
“好了,我来简单讲一下,等离子光源技术。”
“下面大家好好听,记一下笔记。”
“希望大家以后从事相关工作可以用到这个知识。”
“这个等离子光源技术的原理很简单。”
“首先我们知道光刻分辨率的计算公式为
“由于液体的折射率大于1,使得激光的实际波长会大幅度缩小。目前主流采用的纯净水的折射率为1.44,所以光源技术实际等效的波长为从而实现更高的分辨率。”
“使用高功率的二氧化碳激光,在真空器中轰击金属锡微液滴,将其加热并产生激发euv的等离子体。”
“随后一个负责收集的镜片系统将该过程产生的光投射到扫描设备上。”
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